11月14日，2024 SEMI大灣區(qū)產(chǎn)業(yè)峰會(huì)之SEMI半導(dǎo)體供應(yīng)鏈國(guó)際論壇—綠色廠務(wù)論壇在廣州成功召開，論壇旨在為全球半導(dǎo)體企業(yè)提供一個(gè)分享未來芯片廠低碳趨勢(shì)方案、能效管理關(guān)鍵、產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)環(huán)節(jié)構(gòu)建、專業(yè)人才培養(yǎng)的平臺(tái)，共同推動(dòng)綠色轉(zhuǎn)型，逐步實(shí)現(xiàn)共建可持續(xù)發(fā)展芯片廠。

會(huì)議由富士康（鴻海）科技集團(tuán)，環(huán)保長(zhǎng)/副總經(jīng)理洪榮聰主持。他在歡迎致辭中指出碳中和是各“政府行為”下的經(jīng)濟(jì)體實(shí)力競(jìng)逐，臺(tái)面下是新經(jīng)濟(jì)戰(zhàn)爭(zhēng)。

他認(rèn)為，經(jīng)濟(jì)體決勝關(guān)鍵在于基礎(chǔ)設(shè)施，企業(yè)決勝關(guān)鍵在于技術(shù)，整體運(yùn)營(yíng)及產(chǎn)品朝低碳化發(fā)展。全球減碳勢(shì)在必行。他還闡述了減碳凈零的機(jī)遇與挑戰(zhàn)，從新能源、新基建、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型、綠色金融、生態(tài)環(huán)境幾大方面介紹了競(jìng)逐“減碳”路徑下的發(fā)展機(jī)遇。他總結(jié)到，經(jīng)濟(jì)體/企業(yè)需建立低碳核心競(jìng)爭(zhēng)力，尋找所處環(huán)境下的最佳立足點(diǎn)，低碳/可持續(xù)發(fā)展是大方向，利用新基建環(huán)境+綠色智能制造與應(yīng)用，構(gòu)筑低碳產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力，建立具強(qiáng)韌性及可持續(xù)性的全球運(yùn)營(yíng)。

SEMI全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁居龍?jiān)跉g迎致辭中表示，以人工智能激發(fā)出的巨大算力需求為代表，將推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在2030年前后有望實(shí)現(xiàn)一萬(wàn)億美元里程碑，半導(dǎo)體行業(yè)將迎來成長(zhǎng)的黃金20年。半導(dǎo)體制造是大量費(fèi)電耗水、碳排放量較高的產(chǎn)業(yè)，如何減少溫室氣體排放以及化學(xué)品污染及相應(yīng)的清洗，節(jié)能減碳是產(chǎn)業(yè)面臨的一個(gè)嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。與此同時(shí)，先進(jìn)的半導(dǎo)體芯片技術(shù)也正在提供核心技術(shù)支撐，為智能制造、再生能源及可行性效率做出重大貢獻(xiàn)，來共同解決碳排放問題。

SEMI多年來一直致力于集成電路可持續(xù)發(fā)展，SEMI在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域有多項(xiàng)EHSS國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，SEMI在中國(guó)也積極組織EHSS專業(yè)委員會(huì)，其中最后一個(gè)字母S就是指sustainability可持續(xù)發(fā)展。SEMI專門成立了全球半導(dǎo)體氣候聯(lián)盟（SCC），旨在加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)團(tuán)結(jié)協(xié)作，共同努力減少整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的溫室氣體排放，朝著零排放的目標(biāo)邁進(jìn)，助力實(shí)現(xiàn)雙碳目標(biāo)。居龍介紹到，去年，SEMI與施耐德、德勤聯(lián)合出版了《電子行業(yè)低碳轉(zhuǎn)型白皮書》。今年，SEMI SCC（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體氣候聯(lián)盟）&ECOPV（中國(guó)綠色供應(yīng)鏈聯(lián)盟光伏專委會(huì)）合作聯(lián)盟成立，合作聯(lián)盟旨在致力于光伏綠色發(fā)展、技術(shù)賦能、經(jīng)驗(yàn)分享和生態(tài)共享。居龍?zhí)貏e指出一個(gè)值得我們深刻思考的議題：將來留給子子孫孫的，是一個(gè)美麗、清潔、綠色的地球，還是一個(gè)災(zāi)難性暖化污染的負(fù)擔(dān)？節(jié)能低碳不是單獨(dú)某一家公司可以達(dá)成，如何實(shí)現(xiàn)雙碳目標(biāo)需要大家共同的努力，需要全球齊心協(xié)力。

格林斯達(dá)(北京)環(huán)保科技股份有限公司設(shè)計(jì)研發(fā)中心總監(jiān)兼總經(jīng)理助理喻正保博士在題為《新型Local Scrubber技術(shù)開發(fā)及特殊廢氣處理應(yīng)用》的主題演講中介紹了芯片制作工藝及廢棄排放特征，半導(dǎo)體屬于技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，往往被誤解為“清潔”產(chǎn)業(yè)，在生產(chǎn)過程中需大量使用化學(xué)試劑和有機(jī)溶劑。主要工藝包括清洗、熱氧化、化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、光刻、刻蝕、去膠、擴(kuò)散、離子注入、化學(xué)機(jī)械研磨。從生產(chǎn)端來看，除了要加強(qiáng)人員防護(hù)措施外，考慮回收再利用之外，更重要的是要注重工藝廢氣源頭處理。

萬(wàn)事達(dá)潔凈科技有限公司華南區(qū)銷售總監(jiān)尹逸軒在題為《圍護(hù)系統(tǒng)解決方案在電子半導(dǎo)體的應(yīng)用》的主題演講中提到，在漫長(zhǎng)的歷史長(zhǎng)河中，建筑行業(yè)一直是人類息息相關(guān)，伴隨著人類的成長(zhǎng)和發(fā)展。他還介紹了其潔凈行業(yè)首個(gè)5G數(shù)字化化工廠和公司ESG實(shí)踐。

Global Foundries亞太區(qū)環(huán)境和可持續(xù)發(fā)展經(jīng)理林漢斌在題為《半導(dǎo)體制造廠的全面可持續(xù)發(fā)展》的主題演講中表示半導(dǎo)體行業(yè)是資源密集型行業(yè)，是現(xiàn)代科技的推動(dòng)力。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，未來對(duì)資源的需求將不斷增加，在追求技術(shù)進(jìn)步的同時(shí)，必須推動(dòng)可持續(xù)發(fā)展的議程。他認(rèn)為，千里之行始于足下，全面的可持續(xù)發(fā)展方案能夠更有效地應(yīng)對(duì)未來的可持續(xù)發(fā)展挑戰(zhàn)。促進(jìn)跨機(jī)構(gòu)合作，攜手應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)。培養(yǎng)員工技能，充分利用現(xiàn)有的技術(shù)和資源。鼓勵(lì)優(yōu)秀的綠色初創(chuàng)企業(yè)和研究團(tuán)隊(duì)，推動(dòng)創(chuàng)新。打好基礎(chǔ)，深入了解可持續(xù)性問題的根源。規(guī)劃持久的商業(yè)導(dǎo)向可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略，通過準(zhǔn)確洞察，選擇更具價(jià)值和更高效益的項(xiàng)目。

萊特萊德（上海）技術(shù)有限公司市場(chǎng)經(jīng)理馬佳藝在題為《電子級(jí)超純水技術(shù)》的主題演講中提到隨著反滲透膜的生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展，用戶對(duì)反滲透系統(tǒng)也逐漸有了更清晰的認(rèn)識(shí)，他們從投資成本逐漸向運(yùn)行成本方向轉(zhuǎn)變。“綠水青山就是金山銀山”，在全國(guó)提倡保護(hù)環(huán)境，為子孫后代謀福利的今天，如何提高水的利用率，實(shí)現(xiàn)讓環(huán)保更環(huán)保，是環(huán)保行業(yè)共同面臨的課題。她介紹了電子行業(yè)典型廢水類型以及電子/光伏行業(yè)廢水處理方法。

德庫(kù)威勒中國(guó)區(qū)總經(jīng)理程豐林在題為《“綠色低碳”不銹鋼材料的實(shí)踐介紹》的主題演講中，從不銹鋼管道管件材料商角度談如何節(jié)能減碳。他介紹了企業(yè)及產(chǎn)品的碳足跡以及氣候戰(zhàn)略。對(duì)產(chǎn)品碳足跡進(jìn)行了詳細(xì)分析。

ebmpapst China首席高級(jí)戰(zhàn)略業(yè)務(wù)領(lǐng)域總監(jiān)何明睿在題為《EC技術(shù)賦能潔凈室：智能通風(fēng)，讓綠色廠務(wù)更‘凈’一步》的主題演講中指出，希望EC技術(shù)可以讓現(xiàn)有的綠色廠務(wù)達(dá)到更好的節(jié)能效果。

美埃(中國(guó))環(huán)境科技股份有限公司首席研究員黃秀琴在題為《潔凈室機(jī)臺(tái)設(shè)備進(jìn)氣系統(tǒng)—?dú)鈶B(tài)污染物分析及解決方案》的主題演講中指出半導(dǎo)體潔凈室的AMC濃度管控，目前還沒有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。最嚴(yán)苛的AMC濃度管控要求來自光刻機(jī)制造商。成品率的高低取決于潔凈度環(huán)境、超純水等級(jí)、化學(xué)品和氣體純度。通過取樣分析、過程管控和定期監(jiān)控來分析氣態(tài)污染物，明確氣態(tài)污染物的來源，定制化學(xué)過濾器，一款根據(jù)特定AMC管控要求，配置單位吸附容量大的濾料制成的，沒有額外顆粒物及Out-gassing釋放的過濾器，同時(shí)在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上可以使氣態(tài)污染物有更長(zhǎng)滯留時(shí)間，并且阻力較低的過濾器，才是合格的化學(xué)過濾器。

施耐德電氣電子及大健康行業(yè)總經(jīng)理，中國(guó)電子學(xué)會(huì)工業(yè)工程分會(huì)副秘書長(zhǎng)王文韜在題為《數(shù)擎新質(zhì)，共話綠色廠務(wù)》的主題演講中介紹了公司的雙碳目標(biāo)，現(xiàn)場(chǎng)發(fā)起了綠色廠務(wù)學(xué)院聯(lián)盟倡議，聯(lián)盟將在SEMI綠色廠務(wù)專業(yè)委員會(huì)平臺(tái)的指導(dǎo)下，行業(yè)尤其是建廠方面的變革和趨勢(shì)，電力電子領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新和工程應(yīng)用，以及和大家共同倡導(dǎo)在中國(guó)的最佳實(shí)踐。希望大家共同努力，共創(chuàng)一個(gè)安全、透明、有序的產(chǎn)業(yè)。據(jù)悉，當(dāng)日還舉辦了SEMI中國(guó)綠色廠務(wù)委員會(huì)會(huì)議，委員會(huì)專家們就可持續(xù)發(fā)展議題作了進(jìn)一步深入探討。

參考資料：

上海國(guó)際半導(dǎo)體展覽會(huì)SEMICON CHINA

SEMICON CHINA

舉辦地區(qū)：上海

開閉館時(shí)間：09:00-18:00

舉辦地址：上海市浦東新區(qū)龍陽(yáng)路2345號(hào)

展覽面積：90000㎡

觀眾數(shù)量：101500

舉辦周期：1年1屆

主辦單位：中國(guó)電子企業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體分會(huì)、亞洲經(jīng)貿(mào)發(fā)展促進(jìn)中心