據(jù)外媒報(bào)道，近日，ASML發(fā)言人Monique Mols向媒體提及，ASML首席財(cái)務(wù)官Roger Dassen已確認(rèn)今年年底前將向英特爾和臺(tái)積電運(yùn)送兩臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)。
英特爾早在2022年便宣布購買了5臺(tái)此類設(shè)備(型號(hào)為TWINSCAN NXE:3600D)，旨在為2025年生產(chǎn)的 Intel 18A 芯片做準(zhǔn)備。據(jù)了解，三星和SK海力士明年也將得到High-NA EUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)在2025年下半年。
此前有報(bào)道稱，一臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)的價(jià)格大概為3.8億美元，是EUV（約1.83億美元）的兩倍多，目前ASML每年High-NA EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能大概在5到6臺(tái)，收到的訂單數(shù)量在10至20臺(tái)之間。
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參考資料：
上海國際半導(dǎo)體展覽會(huì)SEMICON CHINA
SEMICON CHINA
舉辦地區(qū)：上海
開閉館時(shí)間：09:00-18:00
舉辦地址：上海市浦東新區(qū)龍陽路2345號(hào)
展覽面積：90000㎡
觀眾數(shù)量：101500
舉辦周期：1年1屆
主辦單位：中國電子企業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體分會(huì)、亞洲經(jīng)貿(mào)發(fā)展促進(jìn)中心
